Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing - 20 October 1994, Austin, Texas
- Författare
- (Jagdish P. Mathur, John Lowell, Ray T. Chen, chairs/editors)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1994 | USA | 202 sidor. | 0-8194-1670-3 |